Udindo wa sulfure hexafridede mu silicon nitride kutchetcha

Sulfur hexafride ndi mafuta abwino kwambiri ndipo nthawi zambiri amagwiritsidwa ntchito mu madzi otsetsereka kwambiri ndi magetsi, magetsi, kuwonjezera pa exfageluoride amathanso kugwiritsidwa ntchito ngati ma ekitiromini. Sulfur wamkulu-pulity sulfur soxafloride ndi magetsi abwino kwambiri, omwe amagwiritsidwa ntchito kwambiri muukadaulo wa microectronics. Masiku ano, Niu Ride yapadera yamagesi Yueyue adzayambitsa kugwiritsa ntchito sulufur Hexfuride ku Siltuon nitride kukwezedwa ndi mphamvu zosiyanasiyana.

Timakambirana za SF6 Plasma Sytimang Proces, kuphatikiza kusinthira mphamvu ya plasma, gawo la gasi la SF6 / Iye ndikuwonjezera ma plasma okhazikika a mtundu uliwonse wa ma sf6 / hec6 / sf6 Mtengo wake, ndipo sungani ubale womwe wasintha kwa Sitolo ndi mitundu ya plasma ndende.

Kafukufuku awona kuti mphamvu ya plasma ikachulukitsidwa, kuchuluka kwa magazi kumawonjezeka; Ngati kuchuluka kwa sf6 mu plasma kumachulukitsidwa, FAT ATOM kuphatikizidwa ndikuphatikizidwa ndikuphatikizidwa ndi kukwirira. Kuphatikiza apo, mutatha kuwonjezera mpweya wa o2 pansi pa mtengo wokhazikika, uzikhala ndi mavuto osiyanasiyana, omwe angathandize kufalikira kwa sf6, komwe kumatha kuphatikizidwa ndi ma sf6, omwe angathandize kufalikira kwa SF6, komwe kumatha kuphatikizidwa ndi magawo atatu. . Koma nthawi yomweyo, ma atomu a mazira akuwonjezereka ndipo ndikosavuta kupanga Siox kapena Sinxo (yx) ndi ma atomu ochulukirapo, zovuta zomwe Fzing zingachitike. Chifukwa chake, kuchuluka kwa etch kumayamba kuchepa pomwe kuchuluka kwa o2 / sf6 kumakhala pafupi 1. Chifukwa cha kuwonjezeka kwakukulu mu o2, osungunuka F Itha kuwoneka kuchokera pamenepa kuti o2 awonjezeredwa, kuchuluka kwa o2 / sf6 kuli pakati pa 0,2 ndi 0,8, ndipo mtengo wabwino koposa womwe ungaperekedwe.